Pièces de rechange de tungstène et de molybdène pour des outils d'Ionenimplantation

Pièces de rechange de tungstène et de molybdène pour des outils d'Ionenimplantation

Les pièces de rechange de tungstène et de molybdène pour des outils d'Ionenimplantation est un processus de vide dans l'industrie de semi-conducteur pour enduire des gaufrettes avec les ions, qui changent les propriétés électriques du matériel de gaufrette, par exemple la conductivité. Le processus est divisé dans les étapes suivantes : Création des ions dans une source d'ions, une extraction et une séparation de masse des ions pour l'implantation sélective, un diverion de la poutre, une accélération et un centre du faisceau d'ions à la gaufrette. Ce secteur d'un implanter d'ion s'appelle la ligne de poutre.

Les matières de haute performance employées pour les pièces dans la ligne de poutre sont tungstène, molybdène, Tantal et graphite. En outre des isolants de la haute céramique pure, par exemple MILLIARD sont utilisés.

Fanmetal fournit les consommables et les composants de haute qualité de rechange pour le beamline en Ion Implanters d'AMAT, de Varian et d'Axelis. Les mises à jour d'équipement et les modifications des pièces accordant les exigences de clients pour des améliorations de processus sont un service supplémentaire.

Schéma du faisceau d'ions dans un implanter d'ion.

Pièces de rechange de tungstène et de molybdène pour l'image d'outils d'Ionenimplantation :